3
Apparaatonderdelen en specificaties
Optionele uitrusting en accessoires
Objectoriëntatie (optie)
Horizontaal:
Verticaal:
Draaibaarheid:
Trimniveaus:
Verschuifbaarheid van de meshouderbasis
met lateraalverschuiving
Noord-zuid-verschuiving:
East-west movement:
zonder lateraalverschuiving
Noord-zuid-verschuiving:
18
± 8°
± 8°
± 90°
10 μm, 50 μm
± 24 mm
± 20 mm
± 25 mm
Versie 2.9, Revisie M