Werkingsprincipe - Zeiss Bsd4 Instructiehandleiding
Inhoudsopgave
PK=_ÉëÅÜêáàîáåÖ
3.2. Werkingsprincipe
1
Monster
2
BSE-trajecten
Figuur 1.3: BSD4 detector-diagram
•
De primaire elektronenstraal gaat door de objectieflens en raakt het
monster (1).
•
BSE's (2) komen vrij uit het monster
•
BSE's worden waargenomen door de diodes (vijf segmenten, 3) en genereren een elektrisch
signaal.
De bediening van de BSD4 detector wordt beheerd met het paneel BSD Control.
De BSD4 detector wordt pneumatisch ingebracht en ingetrokken.
NQ=î~å=QQ
3
dÉÄêìáâÉêëÜ~åÇäÉáÇáåÖ=îççê=çéÉê~íçê=_paQ=ÇÉíÉÅíçê=åäMN
2
1
3
Bovenaanzicht op de diodes (5 segmenten)
Inhoudsopgave
